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瀏覽器自帶分享功能也很好用哦~GTV系列光學(xué)真空鍍膜設(shè)備可用于濾光片、常規(guī)AR-玻璃、常規(guī)AR-樹(shù)脂類等膜產(chǎn)品的量產(chǎn)。
設(shè)備特點(diǎn)：
· 腔體尺寸φ600-φ2700mm
· 高離子流密度射頻離子源
· 雙電子槍，多點(diǎn)和環(huán)型坩堝可鍍100層以上
· ACS全自動(dòng)鍍膜控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)鍍膜過(guò)程
· 工件架可選擇球傘式、行星式或翻轉(zhuǎn)式
· 排氣系統(tǒng)低真空泵組+高真空泵組+深冷
GTV-2050主要規(guī)格參數(shù)：
真空腔室尺寸 | SUS304 φ2050mmx1400mm（H） |
工件盤(pán)有效鍍膜尺寸 | φ1900mm |
基板回轉(zhuǎn)速度 | 3r/min-30r/min(可變) |
晶振膜厚儀 | XTC-3+6點(diǎn)晶控 |
蒸發(fā)源 | E型電子槍2套 |
離子源 | GTRF23 |
真空排氣 | 機(jī)械泵+分子泵/低溫泵/+深冷捕集泵 |
基本性能：
極限真空 | 8.0x10-5Pa |
排氣時(shí)間 | 大氣-3.0x10-3Pa/12min/常溫空載 |
基板溫度 | 最高350℃ |
工作條件：
空間要求 | 約3.7m（寬）x5.5m（深）x2.8m（高） |
電源要求 | 3相4線380v50Hz、約80kw |
冷卻水要求 | 160L/min、0.2-0.4MPa、18-25℃ |
壓縮空氣 | 0.6MPa |
設(shè)備重量 | 約13000kg |
GTV-2050光學(xué)真空鍍膜機(jī)
GTV系列光學(xué)真空鍍膜設(shè)備可用于濾光片、常規(guī)AR-玻璃、常規(guī)AR-樹(shù)脂類等膜產(chǎn)品的量產(chǎn)。
設(shè)備特點(diǎn)：
· 腔體尺寸φ600-φ2700mm
· 高離子流密度射頻離子源
· 雙電子槍，多點(diǎn)和環(huán)型坩堝可鍍100層以上
· ACS全自動(dòng)鍍膜控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)鍍膜過(guò)程
· 工件架可選擇球傘式、行星式或翻轉(zhuǎn)式
· 排氣系統(tǒng)低真空泵組+高真空泵組+深冷
GTV-2050主要規(guī)格參數(shù)：
真空腔室尺寸 | SUS304 φ2050mmx1400mm（H） |
工件盤(pán)有效鍍膜尺寸 | φ1900mm |
基板回轉(zhuǎn)速度 | 3r/min-30r/min(可變) |
晶振膜厚儀 | XTC-3+6點(diǎn)晶控 |
蒸發(fā)源 | E型電子槍2套 |
離子源 | GTRF23 |
真空排氣 | 機(jī)械泵+分子泵/低溫泵/+深冷捕集泵 |
基本性能：
極限真空 | 8.0x10-5Pa |
排氣時(shí)間 | 大氣-3.0x10-3Pa/12min/常溫空載 |
基板溫度 | 最高350℃ |
工作條件：
空間要求 | 約3.7m（寬）x5.5m（深）x2.8m（高） |
電源要求 | 3相4線380v50Hz、約80kw |
冷卻水要求 | 160L/min、0.2-0.4MPa、18-25℃ |
壓縮空氣 | 0.6MPa |
設(shè)備重量 | 約13000kg |
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